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质量流量
满量程流速
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slm
0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5 and 10 slmslm
满量程流速
20 and 50 and 100 sccm
20 and 50 and 100 sccmsccm
准确度
0.08% FS or 0.8% SP
0.08% FS or 0.8% SP
最大工作压力
5
5bar
校准
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flow
Air, H2, O2, He, Ar, CO2 and N2 and O2 flowflow
通用的
电源电压
14 - 26
14 - 26V
平均供应电流
50000
50000uA
最大供应电流
320000
320000uA
接口
RS485
RS485
尺寸 (长x宽x高)
101.1 x 24.4 x 91
101.1 x 24.4 x 91mm

下载

Datasheet SFC5460/SFM5460

05/2023

File

771.3 KB

数据表05/2023PDF771.3 KB
Mounting Plate SFX54xx

07/2022

File

168.2 KB

Drawings/CAD07/2022STEP168.2 KB
STEP file downmount SFC5460/SFM5460

08/2022

File

25.2 MB

Drawings/CAD08/2022STEP25.2 MB
STEP file SFM5400

07/2022

File

3.7 MB

Drawings/CAD07/2022ZIP3.7 MB
Engineering guide SFC5xxx/SFM5xxx

07/2023

File

869.9 KB

应用说明07/2023PDF869.9 KB
Reference and flow conversions

09/2021

File

293.7 KB

应用说明09/2021PDF293.7 KB
Reference and flow conversions calculator

File

30.3 KB

应用说明XLSX30.3 KB
SHDLC Interface Reference SFM5xxx/SFC5xxx

File

665.2 KB

应用说明PDF665.2 KB
Quick start guide SFC5xxx/SFM5xxx

09/2021

File

369.3 KB

用户指南09/2021PDF369.3 KB
Recalibration tool SFC5xxx/SFM5xxx

07/2022

File

1002.3 KB

用户指南07/2022PDF1002.3 KB
SFC5xxx DeviceNet communication interface reference

03/2023

File

796.4 KB

用户指南03/2023PDF796.4 KB
Software manual SFC5xxx/SFM5xxx

File

1.3 MB

用户指南PDF1.3 MB
Python driver SFC5xxx/SFM5xxx

Link

软件链接
Recalibration tool software SFC5xxx/SFM5xxx

06/2022

File

软件06/2022文件
Software library LabVIEW, C, C# SFC5xxx/SFM5xxx

03/2022

File

1.7 MB

软件03/2022ZIP1.7 MB
Software SFC5xxx/SFM5xxx

04/2022

File

1.1 MB

软件04/2022ZIP1.1 MB
REACH and RoHS declaration SFM/SGM

01/2025

File

122.8 KB

证明书01/2025PDF122.8 KB
Gas flow sensors brochure

01/2024

File

497.6 KB

传单01/2024PDF497.6 KB

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