Die Produkte von Sensirion lassen sich dank ihrer geringen Grösse, ihrer Genauigkeit und ihrer hohen Leistung leicht in Waferträgersysteme integrieren, um deren Zuverlässigkeit und Leistung zu verbessern.
Front Opening Unified Pods (FOUP)
Ein wichtiges Werkzeug zum Speichern von Halbleiter-Chips und ein fester Bestandteil der Reinraumumgebung
Wie unsere Sensoren einen Unterschied schaffen
Präzise Umgebungssteuerung
FOUPs werden gespült und mit Stickstoff gefüllt, um eine kontrollierte Umgebung zu schaffen, in der die Wafer gelagert werden. Als Vorbehandlungsschritt für feinere Strukturen (z. B. GAA und 3-nm-Knoten) können auch andere Gase eingespeist werden.
Überwachung in Echtzeit
FOUPs überwachen kontinuierlich Parameter wie Luftfeuchtigkeit, Sauerstoff und AMCs (luftgetragene molekulare Verunreinigungen), um Partikelablagerungen und Oxidation auf der Oberfläche der Wafer zu vermeiden.
Sicherer Transport und Handhabung durch Automatisierung
Die Automatisierung stellt sicher, dass die Wafer sicher zu den einzelnen Reinraumtool gelangen. Gleichzeitig werden die Risiken einer falschen Handhabung minimiert. Damit wird letztlich der Durchsatz erhöht, indem die Herstellungsprozesse optimiert werden.
Darum sollte Sensirion Teil deiner Lösung sein
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Präzision und Kosteneinsparung
Durch die präzise Steuerung des Gasflusses in der FOUP-Kammer kann die Beschädigung feiner Strukturen vermieden werden. Außerdem wird der übermäßige Einsatz von Stickstoff während der Spülzyklen reduziert, was Kosten spart.
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Durch die präzise Steuerung des Gasflusses in der FOUP-Kammer kann die Beschädigung feiner Strukturen vermieden werden. Außerdem wird der übermäßige Einsatz von Stickstoff während der Spülzyklen reduziert, was Kosten spart.
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Mit der Integration von Sensoren an verschiedenen Stellen der FOUP-Kammer kann deren Leistung verbessert und homogene Lagerbedingungen gewährleistet werden.
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Um die Halbleiterprozesse weiter zu verbessern, sind Daten notwendig, die von einer Vielzahl von Sensoren gesammelt werden, um Lern- und Prognosemodelle zu implementieren.
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