Mikrofluidik-Systeme sind unerlässlich für die Herstellung und Prüfung von Arzneimitteln sowie für Diagnoseanwendungen. Für eine überaus präzise Handhabung müssen Flüssigkeitsströme bis in den Bereich von nl/min gemessen und Systemfehler diagnostiziert und verhindert werden.
Ziel der Mikrofluidik ist es, Laborexperimente, Diagnosetests oder (bio)chemische Prozesse zu miniaturisieren und zu automatisieren. Statt bestimmte Mengen an Flüssigkeiten von einem Behälter in einen anderen zu pipettieren, werden die Flüssigkeiten heute in einem Mikrofluidsystem durch die winzigen Kanäle eines Verteilers geleitet. Bewegt wird die Flüssigkeit in diesen Kanälen im Allgemeinen durch externe Pumpen oder Druckquellen, an die der mikrofluidische Chip angeschlossen ist. Um die Druckbeaufschlagung zu regeln oder die von der Pumpe erzeugte Strömung zu stabilisieren, wird die Durchflussrate mithilfe von Durchflusssensoren gemessen. Dank ihrer herausragenden Empfindlichkeit auch bei extrem geringen Strömungsraten setzen die mikrothermischen Massenflusssensoren für Flüssigkeiten von Sensirion branchenweit Massstäbe bei der präzisen Überwachung von Flüssigkeitsströmen in Mikrofluidik-Systemen.
